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日本三丰GBI 量块干涉仪自动量块校准仪

2014-04-17

 

日本三丰GBI 量块干涉仪自动量块校准仪

特点

• 三丰GBI量块 是自动量块校准仪,用于校正矩形量块和正方形量块长度的仪器,使用光波干涉最长可达到250mm。GBI 也是土曼格林干涉仪,通过量块比较仪预先测出的参考值使用两个波长将长度校准得更精确。

日本三丰GBI 量块干涉仪自动量块校准仪

• GBI 使用CCD 相机来自动记录测试时量块表面的干涉条纹的分配和强度。将使用相移法处理数据且干

涉条纹通过软件不仅能确定量块的长度还能确定其平行度和平面度。

 

• 由于是在封闭的测量室中进行测量,所以校准值具有极高的稳定性。

• GBI 使用2 个稳定的氦- 氖激光器,具有高度稳定的光强度以及波长,且符合国家长度标准。

• 量块的折射率和热膨胀可通过带有温度计、湿度计和数显气压计的PC 机进行自动补偿。

 

 三丰量具性能参数 型号GBI

光源632.8nm 波长氦 - 氖激光系统

543.5nm 波长氦 - 氖激光系统

测量范围0.1mm - 250mm精度

(20 ±0.5ºC)  0.025μm+0.2x10-6 L*  L= 量块长度 (mm)

安装在测量面上的量块数量12

特点

• GBI 是自动量块校准仪,用于校正矩形量块和正方形量块长度的仪器,使用光波干涉最长可达到250mm

。GBI 也是土曼格林干涉仪,通过量块比较仪预先测出的参考值使用两个波长将长度校准得更精确。

• GBI 使用CCD 相机来自动记录测试时量块表面的干涉条纹的分配和强度。将使用相移法处理数据且干

涉条纹通过软件不仅能确定量块的长度还能确定其平行度和平面度。

* 测量不确定度为 95% (不包括标准量块的校准误差)。

 

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