*1. 测量范围在测量周期为28µs以上时
*2. 在测量中心距离对本公司标准镜面对象物体进行平均次数16384次测量时的实效值与出口贸易管理法规对应控制器(ZW-7000T/5000T)连接时,无论传感头和设定条件如何,最小分辨率都为0.25µm。
*3. 设定本公司标准对象物体的材质:相对于镜面测量时的理想直线的误差
*4. 以测量波长的峰值光强度的1/e2
(13.5%)定义的实效值
*5. 连接了5m以上的延长用光纤电缆时,测量周期(曝光时间)的设定范围会发生变化。
*6. 用铝夹具固定传感头和对象物体之间,在相同温度环境下设置传感头和控制器时的测量中心距离的测量值变化量