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三丰显微镜 FS-70378 系列 — 半导体检测用显微镜

2014-04-24

浏览次数:333

 

三丰显微镜  FS-70378 系列 — 半导体检测用显微镜

• 此光学系统最初是为畅销的 FS60 型 (后升级为 FS70 型) 而开发的。它是作为测量检测半导体器件的显微镜的理想选择。

三丰显微镜  FS-70378 系列 — 半导体检测用显微镜

• FS70L 支持3 种YAG 激光波长(1064nm,532nm, 355nm),FS70L4 支持2 种波长(532nm, 266nm),可在半导体和液晶基板中使用薄膜激光切割技术。这就扩大了激光的使用范围。然而,对用于显微镜的激光系统的性能和安全性,三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。

 

FS70Z 的标准功能有:亮视场,微分干涉对比 (DIC) 和偏振观测。FS70L 和FS70L4不支持 DIC。

• 使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。

• 极易操作的设计:FS70 采用正像光学系统 (视场中的像与样品方向相同) 并用橡胶把手加大微调手轮

 

三丰显微镜技术参数  对焦

• 方法: 有同心粗调和微调手轮(左和右)

• 测量范围: 50mm

微调0.1mm/rev. 同心 ,

粗调3.8mm/rev. 三目镜筒图像: 正像

瞳距: 西登托夫型

调节范围: 51 - 76mm 视场数: 24

俯角: 0º - 20º (仅适于 -TH, -THS 型号)

照明系统: 亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑)

光源: 12V100W 光纤、无极亮度调节,

光导长度1.5m、功耗 150W

物镜 (选件): M Plan Apo, M Plan Apo SL, G PlanApo

 

短基座型号FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS

货号378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4

对焦50mm 行程,同心焦距粗调 (3.8mm/rev) 和微调 (0.1mm/rev) 轮(左、右)

图像正像  瞳距Siedentopf 型, 调节范围: 51 - 76mm

视场数24  俯角— 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º

透过率50/50 100/0 or

0/100  50/50 100/0 or  0/100

100/0 or 0/100 100/0 or 0/100

保护性滤光片— — 内置激光射线滤光片内置激光射线滤光片

光学管径1X 1X - 2X 焦距型1X 1X

适用激光— — 1064/532/355nm 532/266nm

相机端口C-mount (使用适配器B 选件) 使用带有电视端口的

激光器  C-mount 端口

(带有绿色滤光片转换开关)  照明系统,

选件  亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑)

12V 100W 光纤、无极亮度调节、光纤长度:1.5m, 功耗 150W

物镜, 选件  (用于观察)

M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo 物镜, 选件

(用于激光切割)  — M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV  M Plan UV

载重* 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg

重量 (主机) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg

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