压电式传感器一般由壳体及装在壳体内的弹簧、质量块、压电元件和固定安装的基座组成。压电元件一般由两片压电片组成,并在压电片的两个表面镀银,输出端由银层或两片银层之间所夹的金属块上引出,输出端的另一根引线就直接和传感器的基座相连。在压电片上放置一个质量块,然后用硬弹簧对质量块预加载荷,然后将整个组件装在一个基座的金属壳体内。为了隔离基座的应变传递到压电元件上去,避免产生假信号输出,增加传感器的抗干扰能力,基座一般要加厚或者采用刚度较大的材料制造。
使用时,将传感器基座与试件刚性固定在一起,当其感受振动时,由于弹簧的刚度相当大,质量块的质量相对较小,可以认为质量块的惯性很小。因此可以认为质量块感受到与传感器基座相同的振动,并受到与加速度方向相反的惯性力作用,这样,质量块就有一个正比于加速度的作用力作用在压电片上。通过压电片的压电效应,在压电片的表面上就会产生随振动加速度变化的电压,当振动频率远低于传感器的固有频率时,传感器输出的电压与作用力成正比,即与传感器感受到的加速度成正比。将此电压输入到前置放大器后就可以用普通的测量仪器测出加速度,如在放大器中加适当的积分电路,就可以测出振动速度和位移。
现在压电式传感器的发展越来越好了,但是也存在一些方面的不足。例如对微小型化多轴传感器的研究。现在很多工艺和集成电路的技术已经成熟了,那么市场和军事方面对它的需求自然会相应地增加,因此现在各大领域都大力地投入成本进行对多轴的加速度传感器的研究。因为谐振式传感器具备很多的优点,例如精度高和稳定性高等特点,所以很多领域对它的研究都很热门。但是它又因为检测频率信号比较棘手,使它的发展造成一定程度上的限制。现在发现可以利用同一个硅片上所集成的智能检测电路,能够把频率信号快速地提取出来,让它在国际上又得到大力的研究。
德国一些微系统中心、美国的某些大学已经开始得到一定的研究成就了,但是还需要继续研究下去的。当然,国内也有相关的大学也对它进行探索,相信在不久的将来,各领域对它的研究会有很大的飞跃的。因为现在发生了很多爆炸和武器的侵彻现象,所以现在很多领域都对高流程的加速度传感器展开深入的研究了,这样,航天航空和军事方面的发展前景将是无限大的。现在有一种高g值加速度传感器已经采用了微机械加工工艺,使得它的可靠性更高、测量的流程更广还有体积小等等的特点,这样的技术对传感器的发展是很有帮助的。以后,我相信国际上对它的要求也会越来越严格的。
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