1)力矩马达部分
a.线圈断线：引起阀不动，无电流。
b.衔铁卡住或受到限位：原因是工作气隙内有杂物，引起阀门不动作。
c.球头磨损或脱落：原因是磨损，引起伺服阀性能下降，不稳定，频繁调整。
d.紧固件松动：原因是振动，固定螺丝松动等，引起零偏增大。
e.弹簧管疲劳：原因是疲劳，引起系统迅速失效，伺服阀逐渐产生振动，系统震荡，严重的管路[工业电器网-cnelc]也振动。
f.反馈杆弯曲：疲劳或人为损坏，引起阀不能正常工作，零偏大，控制电流可能到zui大。
2)喷嘴挡板部分
a.喷嘴或节流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起频响下降，分辨降率低，严重的引起系统不稳定。
b.滤芯堵塞：原因是油液污染。引起频响下降，分辨率降低严重的引起系统摆动。
3)滑阀放大器部分
a.刃边磨损：原因是磨损，引起泄露，流体噪声大，零偏大，系统不稳定。
b.径向滤芯磨损：原因是磨损。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。
c.滑阀卡滞：原因是油液污染，滑阀变形。引起波形失真，卡死。
4)其他部分
密封件老化：寿命已到或油液不符。引起阀内外渗油，可导致伺服阀堵塞。
4、电液调节系统有MOOG伺服阀故障引起的常见故障
MOOG伺服阀卡涩。尽管在机组启动前已进行油循环且油质化验也合格，但由于系统中的各个死角是未知不可能完全循环冲洗，所以一些颗粒可能在伺服阀动作过程中卡涩伺服阀。
2)汽门突然失控
在机组运行过程中，有时在控制指令不变的情况下，汽门突然全开或全关，造成上述现象的主要原因是MOOG伺服阀堵塞。主要是油中的脏物堵塞伺服阀的喷嘴挡板处，造成伺服阀突然向一个方向动作，导致油动机向一个方向运动到极限未知，使汽门失去控制。
3)气门摆动
气门摆动是较常见的故障现象，在排除控制信号故障的前提下，伺服阀工作不稳定是主要原因。伺服阀的内漏大，分辨率大和零区不稳定，均可能引起电调系统的摆动。伺服阀的分辨率增大，是伺服阀不能很快响应控制系统的指令，容易引起系统的超调，导致系统在一定范围内不停调整，造成气门摆动。伺服阀阀口磨损，不但引起伺服阀泄露增大，而且会引起伺服阀零区不稳定，使伺服阀长期处于调整状态，严重时会引起气门摆动。
4)油动机迟缓率大
造成此现象的原因很多，伺服阀的流量增益低，压力增益低以及伺服阀滤芯堵塞引起伺服阀分辨率过大等，都可能增大油动机迟缓率。解决办法是严格控制燃烧油质，定期检查伺服阀。
5) 油动机关不到位
在控制信号和机械部分没有问题的前提下，造成油动机关不到位的主要原因为伺服阀的零偏不对。
5、运行中抗燃油的维护
系统的结构设计：汽轮机调速系统的结构对抗燃油的使用寿命有直接的影响，因此，系统设计应考虑以下因素：
1)系统应安全可靠。抗燃油应采用独立的管路系统，以免矿物油、水分、等泄露至燃油中造成污染。系统管路中尽量减少死角，以利于冲洗系统。
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