日本三丰MF176 系列 — 测量显微镜观察、测量和处理系统化的显微镜阵容
MF 测量显微镜具有可扩展性,如与三丰公司Vision Unit 一起使用可提高其性能,或者可在PC 中进行数据管理,从而确保提高效率。
三丰测量显微镜特点
• 可观察清晰无闪烁正像,且视场开阔。
• 测量精度在同类设备中最高(符合JIS B 7153 标准)。
• 使用ML 系列,专门为MF 系列设计的高-NA 物镜(长工作距离型)。
• 照明装置(反射/透射) 可选用高亮度LED灯泡或卤素灯泡(必选)。
• 利用可变孔径光阑(反射/透射) 可进行无衍射观察测量。
• 各类标准工作台的尺寸最大达到400 ×200mm。
• 快速释放装置便于在测量工件大或测量工件数量多时快速移动工作台。
• 粗调/细调进给手柄作为标准配置安装在两侧,便于精确聚焦与观察测量,不受用左手或右手习惯的影响。
• 高倍目镜观察,最高达2000X。
• 标准测量显微镜,配有种类繁多的可选附件,包括Vision Unit 影像装置与各种CCD数码相机。
技术参数
观察图像: 正像
目镜镜筒 (选件): 单目目镜或双目目镜 (俯角: 25º),十字分划板投影法, 带有TV 接口,光路切换比 (目镜/TV 接口: 50/50)
目镜 (选件): 10X, 15X, 20X
物镜: 3X (375-037-1), W.D.: 77.0mm
可选: 1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
透射照明
• 光源: 卤素灯泡 (12V, 50W)
• 光学系统: 带有可调光阑的远心照明系统
• 功能: 光强度可调, 无级亮度调节表面照明
• 光源: 卤素灯泡 (12V, 150W)
• 光学系统: 带有可调光圈的科勒照明系统
• 功能: 光强度可调, 无级亮度调节显示装置:
• 轴数: 2 轴 (MF-A 型) 或3 轴 (MF-B 型)
• 分辨率: 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm
• 功能: 调零, 方向转换, 数据输出(通过 RS-232C 接口)
电源: 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量: 65.5kg (505C, 1010C) / 69.5kg (2010C) /
130kg (2017C) / 138kg (3017C) /
144kg (4020C)
3X 目镜分划板
12AAG838 (12AAG878): 十字线 (7μm 宽)
12AAG836 (12AAG877): 十字线 (5μm 宽)
12AAG873 (12AAG876): 十字线 (3μm 宽)
12AAG839 (12AAG879): 十字线和45º 角
12AAG840 (12AAG880): 十字线分划板和60º 角
12AAG841 (12AAG881): 蔡氏型图
12AAG842*: 20mm 读数尺 (分度值0.1mm)
12AAG843*: 同心圆 (ø1.2 - ø18mm)
12AAG844*: 10mm 读数尺 (分度值0.1mm)
12AAG845*: 5mm 读数尺 (分度值0.05mm)
12AAG846*: 10x10mm 网格线 (最小1mm)
12AAG847*: 公制螺纹 (P = 0.25-1.0)
12AAG848*: 公制螺纹 (P = 1.25-2.0)
12AAG849*: 渐开线齿轮 (14.5º), 模数 = 0.1 - 1.0
12AAG850*: 渐开线齿轮 (20º), 模数 = 0.1 - 1.0
12AAG851*: 统一标准螺纹 (80 - 28TPI)
12AAG852*: 统一标准螺纹 (24 - 14TPI)
12AAG853*: 统一标准螺纹 (13 - 10TPI)
( ): 适于 MF-U 型, *: 兼容MF/MF-U 提供分划板插板
日本三丰性能参数
型号 (XY 工作台尺寸) 1010C 2010C 2017C 3017C 4020C
货号* MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665* 176-666*
MF-B 176-682* 176-683* 176-684* 176-685* 176-686*
XY 工作台行程范围100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式手动调焦 (粗调焦: 30mm/rev., 微调焦: 0.2mm/rev.)
测量方法线性编码器 (2 轴型: X / Y 轴, 3 轴型: X / Y / Z 轴)
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm
测量精度 (20ºC 时) XY 轴: (2.2+0.02L)μm, L 为无负载测量长度(mm), JIS B 7153
指示精度 (20ºC 时) Z 轴: (5+0.04L)μm, L 为测量长度 (mm)
浮动功能带有快速释放功能的X 和Y 轴
XY 工作台台面尺寸280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能— — ±5˚ (左) ±5˚ (左) ±3˚ (左)
台面最大承重10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
最大工件高度150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 在货号后加上以下后缀 (如: 176-662-10): -10 适于英国手动用户 11 适于中国手动用户, 无后缀适于日本手动用户
176-392: 10X 单目目镜
176-393: 10X 双目目镜套装
378-866: 10X 目镜套装 (视场范围: 24mm)
378-857: 15X 目镜套装 (视场范围: 16mm)
378-858: 20X 目镜套装 (视场范围: 12mm)
375-043: 量角目镜 (10X)
176-313: 数显量角目镜 (10X)
375-036-2: 1X 物镜 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.03)
375-037-1: 3X 物镜 (W.D.: 77mm, N.A.: 0.09)
375-034-1: 5X 物镜 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.13)
375-039: 10X 物镜 (W.D.: 51mm, N.A.: 0.21)
375-051: 20X 物镜 (W.D.: 20mm, N.A.: 0.42)
375-052: 50X 物镜 (W.D.: 13mm, N.A.: 0.55)
375-053: 100X 物镜 (W.D.: 6mm, N.A.: 0.7)
176-314-1: 滑动型物镜转换器 (2-mount, parfocal)
176-314-2: 滑动型物镜转换器 (2-mount, mag. adjusted)
12AAA643: ND2 型彩色滤光片 (透射 / 表面)
12AAA644: ND8 型彩色滤光片 (透射 / 表面)
12AAA645: GIF 型滤光片 (透射 / 表面)
12AAA646: LB80 型彩色滤光片 (透射 / 表面)
375-054: 0.5X 相机转向镜 (带有 C-mount 适配器)
970441: C-mount 适配器
513667: 卤素灯泡 (24V, 50W)
12BAB345: 卤素灯泡 (长使用寿命型, 24V, 50W)
176-308: 防震台架
176-309: 安装台架
375-056: 读数尺
12AAA165: 镜头清洗工具
12AAA846: 脚踏开关
照明元件 (参见 J-26 页)
176-351-6: 斜面表面照明装置
176-367-2: LED 环形照明装置
176-343: 双光纤照明装置
176-366: 环形光纤照明装置
12AAG806: GIF 型彩色滤光片 (适于光纤照明装置)
12AAG807: LB80 型彩色滤光片 (适于光纤照明装置)
固定和工作台附件 (参见 J-14 页)
176-107: 带有夹钳的支架*
172-378: 带有夹钳的V 型块*
(最大工件直径: 25mm)
172-197: 旋转式中心支架*
(最大工件直径: 80mm)
176-305: 带有微调旋钮的旋转工作台,适用于
505C/1010C/2010C 型号
176-306: 带有微调旋钮的旋转工作台,适用于
2017C/3017C/4020C 型号
* 2010B 型号需要与固定适配器(176-310) 配合使用
2017B/3017B/4020B 型号需要与固定适配器(176-304) 配合使用
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